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■适用范围
西门子法多晶硅还原炉钟罩（炉筒）内壁的全自动清洗和烘干。
■工作原理
以高压水射流为动力,以水力自驱动三维洗罐器为喷头，形成360°的网状喷射表面，完成钟罩内部表面的水力扫射，用专用清洗剂等为主要清洗液，用纯水（去离子水或叫脱盐水）漂洗，用高纯水冲洗，完成清洗过程。
用经过三级净化（10万级）的纯净空气，梯级加热，**终保证烘干完的钟罩不再结露，可直接进入生产作业。
■系统特点
1) 技术能力强，设计合理，根据客户需求，总结借鉴国内外还原炉钟罩及其它罐类清洗烘干经验，充分发挥高压水清洗和吸除尘的技术优势，设计出本套系统，实现了还原炉钟罩的全自动清洗和烘干操作。可根据使用方不同还原炉钟罩、车间厂房的情况，能源条件不同，提供个性化设计。
2) 设备性能可靠，核心部件、元件和附件原装进口。
3) 自动化程度高：PLC+触摸屏柔性自动控制系统，实现对还原炉钟罩的自动清洗和烘干同时具有半自动或手动功能。
4) 适应范围广：可以在一套系统实现多种型号还原炉钟罩的清洗烘干。
5) 节能、环保、安全：提供了预热（余热蒸汽、余热水或油）加热清洗水及干燥空气的方案。全密闭式清洗烘干系统，基本消除了对现场及操作人员的污染。
■工作流程
还原炉钟罩到位—预清洗—清洗剂（碱液）清洗—漂洗—高纯水冲洗—净化热空气干燥—常温干燥—钟罩吊走。
注：清洗剂的选择对清洗效果和作业安全有直接影响，这方面我公司积累了丰富的实践经验解决闪爆等问题。